[16a-P6-1~9] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[16a-P6-8] a,c,r面サファイア基板上に成長したZnO薄膜の結晶構造解析

〇落合 彩人¹、蓮池 紀幸¹、播磨 弘¹、西尾 弘司¹、一色 俊之¹ (1.京都工繊大)

キーワード：酸化物半導体