[16p-A22-1~6] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-A22-1] c面Al₂O₃上アモルファスZnO/V添加ZnO積層膜における固相成長温度の検討

〇渡部 晃弘¹、川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛、RFマグネトロンスパッタ、固相成長

アモルファスZnO/V添加ZnO積層膜における固相成長温度がZnO結晶化と副相形成に及ぼす影響を検討した。