[16p-A24-1~11] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [16p-A24-10] Removal of SiN with blue laser and electrical properties of Cu-electrode solar cells

〇(M1)Masaaki Saiga¹, Daisuke Ando¹, Yuji Sutou¹, Junichi Koike¹, Junki Sakamoto², Masaya Suwa², Koji Tojo², Yasuhiro Yamakage² (1.Tohoku Univ., 2.Shimadzu Corp.)

Keywords:solar cell, electrode, laser

現在Si系太陽電池の電極にはAgが用いられており、代替として安価なCuの導入が望まれる。Si基板表面には絶縁層のSiN反射防止膜が成膜されており、Agペーストのファイヤースルー処理によってAg電極を形成する。Cuペーストの場合、Cu/Si間の拡散を防ぐため高温焼成を避け、更にCu電極を形成する前にSiNを選択的に除去する必要がある。本研究では、青色レーザー(波長450 nm)を用いてSiNを除去し、良好な太陽電池特性が得られる条件を探索した。