[16p-A24-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [16p-A24-10] 青色レーザーによるSiN反射防止膜除去とCu電極太陽電池セルの電気特性

〇(M1)雑賀 真晃¹、安藤 大輔¹、須藤 祐司¹、小池 淳一¹、坂本 隼規²、諏訪 雅也²、東條 公資²、山蔭 康弘² (1.東北大院工、2.島津製作所)

キーワード：太陽電池、電極、レーザー

現在Si系太陽電池の電極にはAgが用いられており、代替として安価なCuの導入が望まれる。Si基板表面には絶縁層のSiN反射防止膜が成膜されており、Agペーストのファイヤースルー処理によってAg電極を形成する。Cuペーストの場合、Cu/Si間の拡散を防ぐため高温焼成を避け、更にCu電極を形成する前にSiNを選択的に除去する必要がある。本研究では、青色レーザー(波長450 nm)を用いてSiNを除去し、良好な太陽電池特性が得られる条件を探索した。