[16p-A24-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[16p-A24-6] 固体ソースMBE法で作製した単層Geドットマスクを用いた結晶Si太陽電池用光閉じ込め構造の表面形態

〇(M1)本部 惇史¹、黒川 康良¹、Dmitrij Yuasov²、Alexey Novikov²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.ロシア科学アカデミー)

キーワード：光閉じ込め、太陽電池、Geドット構造

固体ソース分子線エピタキシー法によりSi(100)基板上にGeドット構造を成長させた。その試料をアルカリ溶液で処理することによりGeドットをマスクのように機能させSi基板表面上にナノスケールの太陽電池用光閉じ込め構造を作製した。Geドット成長条件による表面形態の変化と、その形態変化が光学特性に与える影響について調査した。