[16p-B7-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-B7-1] パルス化したマイクロ波プラズマＣＶＤを用いたダイヤモンド合成 -２

〇山田 英明¹、茶谷原 昭義¹、杢野 由明¹ (1.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、マイクロ波プラズマ、パルス放電