[16p-B7-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-B7-3] ITO成膜でのハイブリッド対向スパッタと従来型対向スパッタの比較検討

〇諸橋 信一^1,2、谷本 司¹、辻田 圭祐¹ (1.山口大工、2.産総研)

キーワード：ハイブリッド対向スパッタ、従来型対向スパッタ、ITO薄膜