[16p-B7-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-B7-9] 大気圧プラズマ処理による表面改質とせん断引張強さの向上

〇荒岡 信隆¹、山崎 顕一¹、飯島 崇文¹、今村 武¹、安井 祐之¹ (1.東芝)

キーワード：大気圧プラズマ、表面改質、XPS分析

異種材料結合によるマルチマテリアルは様々なニーズへのブレークスルー技術として期待されている。電力機器に対しては，金属導体とエポキシ樹脂のマルチマテリアルが用いられているが，製造工程において，化学薬品処理が行われており，環境負荷が少ない製造方法が求められている。我々は、金属と樹脂による異材接合に対し、化学薬品処理に替わる処理方法として非平衡プラズマ処理技術を開発している。金属表面へのプラズマ処理により，処理前後で接触角が大幅に低下し，金属－樹脂間の接着強度が高まった。プラズマ処理による表面状態を評価したところ，表面の有機性異物が除去され，さらに水酸基の量が増加していることが明らかになるとともに，接着強度は水酸基量に比例していることが明らかになったので報告する。