2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[16p-D61-1~12] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2016年9月16日(金) 13:15 〜 16:30 D61 (万代島ビル6階D1)

澤野 憲太郎(都市大)

16:15 〜 16:30

[16p-D61-12] 分光エリプソによるSiO2上Geの2次元成長と島状成長の境目検知

赤沢 方省1 (1.NTT DIC)

キーワード:Ge、SiO2、分光エリプソ

光エミッタやメモリ応用を目指して、SiO2上へのGeドットの形成が注目を集めているが、成長に関するパラメータを微妙に変化させると、Geの成長モードが2次元成長と3次元成長の間で遷移する。本研究では、実時間分光エリプソを用い、成長初期に成長モードを検知する手法について検討した。