[16p-D61-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16p-D61-12] 分光エリプソによるSiO₂上Geの２次元成長と島状成長の境目検知

〇赤沢 方省¹ (1.NTT DIC)

キーワード：Ge、SiO2、分光エリプソ

光エミッタやメモリ応用を目指して、SiO₂上へのGeドットの形成が注目を集めているが、成長に関するパラメータを微妙に変化させると、Geの成長モードが2次元成長と３次元成長の間で遷移する。本研究では、実時間分光エリプソを用い、成長初期に成長モードを検知する手法について検討した。