[16p-P2-1~5] 8.1 プラズマ生成・制御

[16p-P2-1] マイクロ波容量結合プラズマを用いた小型原子源の開発

〇島袋 祐次¹、粕谷 俊郎¹、和田 元¹ (1.同志社大理工)

キーワード：マイクロ波プラズマ、容量結合プラズマ、質量分析法

医学・薬学・生理学への応用を目的とした質量分析法による，生体高分子の構造解析へ用いる小型原子源の開発を行う．
容量結合プラズマでは熱解離型の原子源とは違い高温部がないことから発熱を抑えられる．
さらに，導波管ではなく同軸ケーブルによる電力供給を行うため大幅な小型化が実現される．