[16p-P6-1~22] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[16p-P6-16] Control of Electrospray for Multilayer Deposition of OLED Materials

〇Hideaki Takaku¹, Harumi Hayakawa¹, Tetsuya Aoyama¹, Yusuke Tajima¹, Shoshiro Matsushita¹ (1.RIKEN)

Keywords:ESD, OLED, multilayer

有機半導体材料のウエットプロセスでの塗布法は，スピンコート法やインクジェット法などが知られているが，スプレー成膜の一種で塗膜中の溶媒含有量を任意に制御でき，材料の消費量も少ない方法として静電噴霧堆積(ESD)法がある．ESD 法では，有機半導体インクで用いる有機溶剤の蒸気圧，溶解性，誘電率が主要パラメーターであるが，均一で平坦な成膜には，蒸気圧が低く，材料に対する溶解性が高い溶媒の混在が重要である．今回我々は，この性質を有する溶媒を選別して，有機半導体を均一に多層化する条件を見出し，ESD 法により有機EL 素子を作製し，評価を行ったので報告する．