[16p-P6-1~22] 12.1 作製・構造制御

[16p-P6-16] 有機EL材料の多積層化に向けた静電スプレー制御

〇高久 英明¹、早川 晴美¹、青山 哲也¹、田島 右副¹、松下 聖志郎¹ (1.理研)

キーワード：静電噴霧堆積法、有機発光ダイオード、多積層

有機半導体材料のウエットプロセスでの塗布法は，スピンコート法やインクジェット法などが知られているが，スプレー成膜の一種で塗膜中の溶媒含有量を任意に制御でき，材料の消費量も少ない方法として静電噴霧堆積(ESD)法がある．ESD 法では，有機半導体インクで用いる有機溶剤の蒸気圧，溶解性，誘電率が主要パラメーターであるが，均一で平坦な成膜には，蒸気圧が低く，材料に対する溶解性が高い溶媒の混在が重要である．今回我々は，この性質を有する溶媒を選別して，有機半導体を均一に多層化する条件を見出し，ESD 法により有機EL 素子を作製し，評価を行ったので報告する．