[16p-P6-1~22] 12.1 作製・構造制御

[16p-P6-9] 蒸着重合法を用いた共蒸着ポリイミド薄膜の作製

〇(M1)山嵜 貴俊¹、田中 邦明¹、臼井 博明¹ (1.農工大院)

キーワード：蒸着重合、ポリイミド、薄膜