[16p-P7-1~20] 12.4 有機EL・トランジスタ

[16p-P7-13] 凸版反転印刷電極を用いたトップコンタクト型有機トランジスタの作製

〇(B)圓岡 岳^1,3、竹田 泰典^2,3、吉村 悠大⁴、岡本 朋子⁴、松井 弘之^2,3、熊木 大介^2,3、田中 康裕⁵、片山 嘉則⁴、時任 静士^2,3 (1.山形大工、2.山形大院理工、3.山形大ROEL、4.DIC、5.宇部興産)

キーワード：有機トランジスタ、凸版反転印刷法、プリンテッドエレクトロニクス

有機材料を用いた電子デバイスとして有機トランジスタ（OTFT）があげられる。有機材料の特徴を生かしOTFTは温度センサー，圧力センサー、医療分野への応用としてバイオセンサーが期待される。それら応用アプリケーションを実現する上で重要なファクターとしてデバイスの作製手法が重要となる。本報告では微細配線が形成可能でかつ集積回路応用へ期待される凸版反転印刷法用いてトップコンタクト型OTFTの作製に成功した。従来電極部を真空蒸着法またはインクジェット法で形成する場合、前者は高温の蒸着熱により、後者はインクの溶剤により半導体層にダメージを与えることでトップコンタクト構造の作製には課題があった。本報告段階では電極部にのみ凸版反転印刷法を用いて素子作製に成功したので報告する。