[16p-P7-1~20] 12.4 Organic light-emitting devices and organic transistors

[16p-P7-17] Thin-Film Growth by the High-Velocity Molecular-Beam Cell: Impact of High Flux on Carrier Mobility

〇Masaki Nobunaga¹, Matsumoto Takuya¹, Matsubara Ryosuke², Kojima Hirotaka¹, Nakamura Masakazu¹ (1.NAIST, 2.Shizuoka Univ.)

Keywords:Organic transistor, Thin-film growth, Vacuum deposition method

真空蒸着法による有機薄膜成長の短所の原因は、従来の大開口蒸着セル構造にあると考えられる。そこで、準閉鎖構造となる高熱伝導性リザーバーと加熱されたキャピラリを有し、方向性を持った高密度分子線によって桁違いに速い蒸着レートを安定制御できる高速分子線セルを開発してきた。今回、この高密度分子線を活かし、分子流束をさらに大きくすることで、薄膜の電気特性向上効果が得られることを確認したので、報告する。