[16p-P7-1~20] 12.4 有機EL・トランジスタ

[16p-P7-17] 高速分子線セルによる薄膜成長：高流束化による移動度向上効果

〇信長 賢輝¹、松本 拓也¹、松原 亮介²、小島 広孝¹、中村 雅一¹ (1.奈良先端大物質、2.静岡大工)

キーワード：有機トランジスタ、薄膜成長、真空蒸着法

真空蒸着法による有機薄膜成長の短所の原因は、従来の大開口蒸着セル構造にあると考えられる。そこで、準閉鎖構造となる高熱伝導性リザーバーと加熱されたキャピラリを有し、方向性を持った高密度分子線によって桁違いに速い蒸着レートを安定制御できる高速分子線セルを開発してきた。今回、この高密度分子線を活かし、分子流束をさらに大きくすることで、薄膜の電気特性向上効果が得られることを確認したので、報告する。