[16p-P7-1~20] 12.4 有機EL・トランジスタ

[16p-P7-4] アルゴンガスクラスターイオンビームエッチングと組み合わせた飛行時間型二次イオン質量分析法およびX線光電子分光法を用いた有機EL素子の劣化原因の検討

〇松尾 修司¹、三井所 亜子¹、横田 嘉宏¹ (1.コベルコ科研)

キーワード：有機EL、輝度劣化、GCIB