[16p-P7-1~20] 12.4 有機EL・トランジスタ

[16p-P7-9] 光応答性表面処理材料の開発と無電解めっきによる
レジストフリー微細配線形成技術

〇川上 雄介¹、小泉 翔平¹、堀 正和¹、林田 洋祐¹、鬼頭 義昭¹ (1.ニコン)

キーワード：光パターニング、配線形成、光機能性表面処理

今回の検討では配線めっきに適した光応答性材料を独自に創製しパターニング評価を行った。配線めっきへの適用を検証した結果、PET基板上に成膜した数nmの薄膜においても所望の性能を発現し、レジストを用いることなく、フォトリソによる微細配線形成が可能であることを確認できた。