14:15 〜 14:30 [19p-H137-5] 80~200eV域定偏角分光器用酸化物膜付加高回折効率回折格子の設計 〇小池 雅人1、長野 哲也2、笹井 浩行2、浮田 龍一2 (1.原子力機構量子ビーム、2.島津デバイス)