15:45 〜 16:00 [20p-H121-10] ステップ高さ制御SiC基板上AlN層の高分解能X線回折評価における界面局在ミスフィット転位に起因する横方向サテライトピーク 〇金子 光顕1、木本 恒暢1、須田 淳1 (1.京大院工)