13:30 〜 15:30 [20p-P8-5] プラズマ励起法を用いたナノ微粒子用原子層堆積装置開発 〇菊地 航1、鹿又 健作2、有馬 ボシルアハンマド2、久保田 繁2、廣瀬 文彦2 (1.山形大工、2.山形大院理工)