16:00 〜 18:00 [19p-P12-17] 溶液法により作製したAl添加ZnO薄膜トランジスタの焼結雰囲気によるトランジスタ特性への影響 〇佐々木 祥太1、木村 史哉1、孫 屹1、小山 政俊1、前元 利彦1 (1.阪工大ナノ材研)