15:15 〜 15:30 [21p-S611-8] in-situ Bドーピングした歪SiGe層を用いたSi光変調器の検討 〇藤方 潤一1、野口 将高1、韓 在勲2、高橋 重樹1、中村 隆宏1、竹中 充2 (1.PETRA、2.東大工)