15:45 〜 16:00 [21p-S223-9] Si基板上の歪みGe薄膜のラマン評価 〇(B)酒井 駿也1、山村 和也1、西垣 宏1、蓮池 紀幸1、播磨 弘1、Woo Sik Yoo2 (1.京工繊大、2.WaferMasters Inc.)