13:30 〜 15:30 [19p-P2-4] STI型ULSI素子の転位蓄積に伴う電気特性変化(3) 〇米窪 駿1、嵐 祥吾2、佐藤 満弘2、山口 憲3、丸泉 琢也1 (1.東京都市大工、2.北見工大工、3.アドバンスソフト)