16:45 〜 17:00 [20p-H113-10] レーザーアニールSiCの結晶性評価(3) 〇山本 秀和1、内盛 瑞記1、マッツァムト フルビオ2、金 鍾得3、小野 修一4、新井 学4 (1.千葉工大工、2.SCREEN/LASSE、3.パークシステムズ、4.新日本無線)