10:15 〜 10:30 [20a-S222-6] 直流マグネトロンスパッタ多結晶 Al 添加 ZnO 透明導電膜の配向秩序特性及びキャリア輸送特性に与える Al 添加量の影響 〇野本 淳一1、牧野 久雄1,2、山本 哲也1 (1.高知工科大総研、2.高知工科大システム工)