14:00 〜 14:15 [22p-W541-5] 再成長S/Dを有するInGaAsマルチゲートMOSFETのLch=16nm動作 〇木下 治紀1、木瀬 信和1、祢津 誠晃1、金澤 徹1、宮本 恭幸1 (1.東工大院理工)