16:15 〜 16:30 △ [20p-H103-12] フッ素化DLC薄膜表面への軟X線照射による機能性変化 〇(M1C)高松 大樹1,2、新部 正人1,2、神田 一浩1,2 (1.兵庫県大工、2.高度研)