16:00 〜 18:00 [19p-P9-2] AlN圧電薄膜へのMgとNbの添加効果 上原 雅人1,3、〇(M1)重本 北斗3、長瀬 智美1、會田 康弘2、梅田 圭一2、秋山 守人1 (1.産総研、2.村田製作所、3.九大総理工)