09:30 〜 11:30 [22a-P5-17] エアロゾルデポジション法による多孔質酸化物膜の作製 〇(B)井上 貴明1、志藤 泰紀1、佐藤 智也1、明渡 純2、内山 潔1 (1.鶴岡高専、2.産総研)