11:45 〜 12:00
〇佐々木 敬1、鈴木 智大1、松浦 寛2、羽根 一博1 (1.東北大工、2.東北学院大工)
佐々木 敬
発表者・著者、共著者
2016年3月20日(日) 09:00 〜 12:15 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月20日(日) 09:00 〜 12:15 S423 (南4号館)
11:45 〜 12:00
〇佐々木 敬1、鈴木 智大1、松浦 寛2、羽根 一博1 (1.東北大工、2.東北学院大工)