09:45 〜 10:00 [21a-H101-4] 4H-SiC m面上に形成された熱酸化膜の界面近傍における微視的構造の特徴の赤外分光法による解析 〇黒山 滉平1、平井 悠久1、山本 建策2、金村 髙司2、喜多 浩之1 (1.東京大工、2.デンソー)