16:30 〜 16:45 [20p-H121-13] c-BN薄膜のイオンビームアシストMBE成長における基板へのバイアス電圧印加の効果 〇平間 一行1、谷保 芳孝1、山本 秀樹1、熊倉 一英1 (1.NTT物性研)