09:30 〜 11:30 [22a-P5-18] キレートフレーム法で合成したY2O3膜とEr2O3膜の断面観察 〇淡 焱鑫1、中村 淳1,2、小松 啓志1、齋藤 秀俊1 (1.長岡技科大、2.中部キレスト)