10:00 〜 10:15 [22a-S421-5] CVD法により合成したh-BN多層膜の触媒依存性 〇近藤 大雄1,2、林 賢二郎1,2、片岡 真紗子1,2、岩井 大介1,2、佐藤 信太郎1,2 (1.富士通研、2.富士通)