09:15 〜 09:30
〇古賀 和博1,2、居村 史人1,2、北山 侑司2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
古賀 和博
発表者・著者、共著者
2016年3月19日(土) 09:00 〜 12:30 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月19日(土) 09:00 〜 12:30 S423 (南4号館)
09:15 〜 09:30
〇古賀 和博1,2、居村 史人1,2、北山 侑司2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)