09:15 〜 09:30 [19a-S423-2] ミニマル液体ドーパントプロセスによるCMOS試作(II) 〇古賀 和博1,2、居村 史人1,2、北山 侑司2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)