13:30 〜 13:45 △ [19p-H111-2] 基板上VO2薄膜の転移応力制御によるマイクロクラックの削減と転移の急峻化 〇(M2)大森 康平1、矢嶋 赳彬1、西村 知紀1、鳥海 明1 (1.東大院工)