09:30 〜 11:30 △ [21a-P2-16] TCADを用いた初歩的なSiCパワー半導体プロセスの教育システムの構築 〇(B)高濱 滉太1、広田 悠輝1、中口 陽介1、足立 拓磨1、向井 浩二1、田中 武1 (1.広工大)