09:45 〜 10:00 [20a-S222-4] DCスパッタ法で成膜したTi添加ZnO透明導電膜の熱安定性 北尾 寿貴1、〇牧野 久雄1,2、野本 淳一2、山本 哲也2、中田 邦彦3 (1.高知工科大シス工、2.高知工科大総研、3.住友化学)