出展者情報
[Sp-11] テガサイエンス(株)
■【UHVコンポーネント】電子ビーム蒸着源・サーマルガスクラッカー・RFアトムソース・RFイオンソース・ナノクラスターソース・スパッタソース・有機蒸着源 ■【グローブボックスシステム】不活性ガス循環精製装置付グローブボックスシステム
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