2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[Sp-11] テガサイエンス(株)

■【UHVコンポーネント】電子ビーム蒸着源・サーマルガスクラッカー・RFアトムソース・RFイオンソース・ナノクラスターソース・スパッタソース・有機蒸着源 ■【グローブボックスシステム】不活性ガス循環精製装置付グローブボックスシステム