●コンパクト原子層堆積装置（GEMStar XT/XT-P　シリーズ、プラズマALD対応 ） ●パルスレーザ堆積装置（SMP700/800） ●走査型超音波顕微鏡（ASM300） ●ナノインプリント用高機能ポリマー、レジスト（mr NIL210） ●簡易型熱ナノインプリント装置（CNI Tool）