2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[Pt-11] (株)エイチ・ティー・エル

●コンパクト原子層堆積装置(GEMStar XT/XT-P シリーズ、プラズマALD対応 ) ●パルスレーザ堆積装置(SMP700/800) ●走査型超音波顕微鏡(ASM300) ●ナノインプリント用高機能ポリマー、レジスト(mr NIL210) ●簡易型熱ナノインプリント装置(CNI Tool)

[Pt-3] AOV(株)

■グローブボックス内収納/接続型蒸着装置 ■真空蒸着用基板加熱機構(赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金等) ■複合型PLD/MBE蒸着装置 ■多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

[Sp-12] (有)エーピーエフ

■各種レーザー(SLMレーザー含む) ■ピエゾモーターステージ ■IBSコーティングミラー及び光学部品 ■ハンディタイプ膜厚計 ■超微小CMOSカメラ ・タグレンズ

[Pv-3] (株)エピテック

■真空機器全般及び周辺機器の設計製作、加工、販売、メンテナンス等 【販売提携先:株式会社サーモ理工、キヤノンアネルバ株式会社、アルバック工機株式会社】