[Pv-8] (株)サーモ理工
■赤外線導入加熱装置(GVL298) 均温熱処理装置(GFA430VN) 超高温スーパーRTA装置(SR1800D)他
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■赤外線導入加熱装置(GVL298) 均温熱処理装置(GFA430VN) 超高温スーパーRTA装置(SR1800D)他
■受託分析サービスを事例をもとにご紹介いたします
■共用施設での試作例、加工例、計測例等の展示
■卓上型スパッタ装置 SC-701MK-II ADVANCE ■真空蒸着装置 SVC-700TMSG / 7PS80
ECR/ALD薄膜形成装置紹介 ■成膜サンプル各種(Si基板上)
■分光エリプソメーター