■完全分離型スキャナーを搭載した最新型AFMシステムと最新型真空AFM

■フリップテップボンダー ■ワイヤーボンダー ■エポキシダイボンダー ■UV硬化炉 ■レーザーマイクロカッティングシステム ■高速熱処理装置 ■マニュアルプローバー ■四深針プローバー ■非接触シート抵抗測定器 ■非接触ウエハ厚み測定機

■ANNEALSYS社製　アニール装置及びダイレクトリキッドインジェクションCVD装置 ■Ultratech社製　原子層堆積（ALD)装置

■大気圧プラズマ装置

■SENTECH社　ALD原子層堆積装置、分光エリプソメータ

■原子散乱表面分析装置　TOFLAS-3000 ■モバイルコンビレーザーMBE装置 ■光学・電気測定用極低温冷凍機システム ■テラヘルツ発生・検出器 （光伝導アンテナ）

■Ｘ線回折装置、Ｘ線管球

■MPPC/MPPCモジュール ■μPMT ■Thzモジュール ■InGaAsカメラ ■広ダイナミックレンジユニット ■UVCL ■UV―LED　他

■超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡アプリケーションパネル　走査型プローブ顕微

■オスミウム・プラズマコーター ■UVオゾンクリーナー ■真空電子染色装置

■完全空冷one boxフェムト秒ピコ秒レーザ ■フェムト秒ピコ秒パルス幅測定器 ■超コンパクトCWマイクロレーザ ■ファイバー入射分光器 ■液晶チューナブルフィルター　他

TBD

■分子シミュレーションソフトウェア（SCIGRESS及びSCIGRESS ME）

■研究開発用インクジェット装置 / マテリアルプリンターDMP-2831

■超短パルスレーザー他

■光学結晶その他

■AFM（原子間力顕微鏡） ■ナノインデンテーションシステム及び、X線回折装置のご紹介

■DC・パワー・RF測定用マニュアル/セミオートプローバー ■RFプローブ他高周波測定アクセサリー

■ラマン顕微鏡、GD-OES、カソードルミネッセンス、グレーティング・検出器、マスフローコントローラ