2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[Pa-20] 神津精機(株)

■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス) ~半導体ウエハの反り・膜厚をはじめとする形状を簡単・高精度測定~ 非接触型の形状測定システム(ダイボス)は生成した2D/3DモデルからSEMI規格のSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。

[Pm-4] (株)サイアロン

■サイアロン蛍光体(青色、広帯域青色、狭線幅青色、広帯域青緑色、狭線幅緑色、黄~橙色、赤色、他)、NIMS標準蛍光体、蛍光体製造・評価実験の受託

[Ps-7] サイバネットシステム(株)

■DiffractMOD:RCWA法による回折光学素子解析ソフトウエア FullWAVE ■FDTD法によるナノ構造の電磁界解析ソフトウエア BeamPROP ■BPM法による光導波路・ファイバの伝播解析ソフトウエア FemSIM ■FEM法による光導波路・ファイバのモード解析ソフトウエア setfos ■有機デバイスの光学・電気特性を包括的に解析するソフトウェア

[K4-5] 三和真空(株)

■英国オックスフォードアプライドリサーチ社製品:ミニe-ビームエバポレータ、ピエゾエレクトリックガスドーザー、サドルフィールド型アトムソース