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■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス) ~半導体ウエハの反り・膜厚をはじめとする形状を簡単・高精度測定~ 非接触型の形状測定システム(ダイボス)は生成した2D/3DモデルからSEMI規格のSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。
■神戸にあるスーパーコンピュータ「京」、産業用スーパーコンピュータ「FOCUSスパコン」のご紹介
■非接触微細形状測定器 ET200Crispy
■最新ウルトラファーストレーザシステム、および再生増幅器等のご紹介
■スパッタリングターゲット・薄膜素材の開発支援サービス
■コンビナトリアル・スパッタ装置
■赤外線導入加熱装置(GVL298) 均温熱処理装置(GFA430VN) 超高温スーパーRTA装置(SR1800D)他
■サイアロン蛍光体(青色、広帯域青色、狭線幅青色、広帯域青緑色、狭線幅緑色、黄~橙色、赤色、他)、NIMS標準蛍光体、蛍光体製造・評価実験の受託
■ナノインプリント 光学シミュレーション
■超短パルス電子銃 ■高速高電圧パルスジェネレータ ■パルス計数用プリアンプ ■パルスバルブ ■MCP ■カンチレバー
■DiffractMOD:RCWA法による回折光学素子解析ソフトウエア FullWAVE ■FDTD法によるナノ構造の電磁界解析ソフトウエア BeamPROP ■BPM法による光導波路・ファイバの伝播解析ソフトウエア FemSIM ■FEM法による光導波路・ファイバのモード解析ソフトウエア setfos ■有機デバイスの光学・電気特性を包括的に解析するソフトウェア
■受託分析サービスを事例をもとにご紹介いたします
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■高周波電源 ■高周波増幅器 ■ポストアンプ ■RFコンポーネント
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■コンパクトソーラーシュミレーター 人工光合成・光触媒等 実験用光源
■共用施設での試作例、加工例、計測例等の展示
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■卓上型スパッタ装置 SC-701MK-II ADVANCE ■真空蒸着装置 SVC-700TMSG / 7PS80
■英国オックスフォードアプライドリサーチ社製品:ミニe-ビームエバポレータ、ピエゾエレクトリックガスドーザー、サドルフィールド型アトムソース