■PL測定装置

■PBNヒータ、PBN静電チャック、PBNルツボ、TaCコート品、BNパウダー、焼結BN、HOPG

■「ナノテクノロジープラットフォーム」は、文部科学省の委託に拠り、最先端の研究設備を広く一般の研究者・技術者の方々へ利用して頂く事業です。ナノテクノロジー分野の更なる発展に寄与することを目的に、全国25ヶ所の大学・研究機関が一体となって、三つの技術領域（微細構造解析、微細加工、分子・物質合成）に於いて、最先端設備と共に、高度な技術支援を提供します。これらの概要と利用事例をご説明し、利用相談に...

TBD

■グラフ作成・データ分析ソフトウェア　Origin

■X線用検出器：　OptoDiode社　Siフォトダイオード　Amsterdam Scientific Instruments社　ピクセル検出器 ■X線用オプティクス:　LUXEL社　薄膜フィルター　Rigaku Innovative Technologies社　ミラー ■セラミック製品：　FRIATEC社　真空チャンバー、絶縁管、フィードスルー他

■X線回折装置 ■ハイブリット型多次元ピクセル検出器 ■熱分析装置

■大気中光電子分光装置　AC-5　■ポータブルX線回析装置　DF-01　■ポケッタブルマルチガスモニター

■冷却・加熱機構組込マイクロプローバ

TBD

■レーザーマイクロスコープ　OPTELICS HYBRID

■クライオスタット、レーザー干渉変位計、低温用・室温用ポジショナー、極低温抵抗ブリッジなど

■真空用電気・光ファイバー接続部品、温度センサー、ヒーター、位置決め部品、横型バッチ式プロセス炉、ガス供給システム、プロセス制御ソフトウェア

■ALD成膜装置