[Pa-20] 神津精機(株)
■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス) ~半導体ウエハの反り・膜厚をはじめとする形状を簡単・高精度測定~ 非接触型の形状測定システム(ダイボス)は生成した2D/3DモデルからSEMI規格のSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。
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■最新ウルトラファーストレーザシステム、および再生増幅器等のご紹介
■赤外線導入加熱装置(GVL298) 均温熱処理装置(GFA430VN) 超高温スーパーRTA装置(SR1800D)他
■受託分析サービスを事例をもとにご紹介いたします
■共用施設での試作例、加工例、計測例等の展示
■卓上型スパッタ装置 SC-701MK-II ADVANCE ■真空蒸着装置 SVC-700TMSG / 7PS80