[19a-H111-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19a-H111-1] 【講演奨励賞受賞記念講演】 高品質γ-Ti₃O₅薄膜の合成と超伝導特性

〇吉松 公平¹、坂田 修身^2,3、大友 彰^1,3 (1.東工大院理工、2.物質・材料研究機構、3.元素戦略)

キーワード：酸化物薄膜、超伝導、パルスレーザー堆積法